当废气处理设备故障导致排放超标时，相关企业将面临严重的环境违法问题，并可能受到相应的处罚。在这种情况下，针对企业的处罚通常会包括以下几个方面：
一、责令整改
针对废气处理设备故障导致超标排放的情况，环保监管部门通常会责令企业立即停止相关生产活动，并要求企业立即排除故障，修复设备，确保排放达标。
二、罚款处罚
对于超标排放的行为，环保部门通常会根据排放超标的程度和影响大小，对企业进行相应的罚款处罚。罚款数额可能会根据超标排放的时间长短、排放浓度高低等情况而有所不同。
三、行政处罚
除了罚款之外，环保部门还可以根据《环境保护法》等相关法律法规，对企业进行行政处罚，如责令停产整顿、吊销环评批复文件、撤销排污许可证等。
四、刑事责任追究
如果企业的超标排放行为严重，造成了严重的环境污染和社会影响，甚至构成犯罪行为，相关责任人员可能会被追究刑事责任，受到法律的严惩。
五、公示曝光
环保部门还可能会对企业的违法行为进行公示曝光，公开企业的违法记录，以此来增加企业的舆论压力，并警示其他企业引以为戒。
针对废气处理设备故障导致超标排放的情况，企业应当积极采取措施，尽快修复设备，整改违法行为，主动与环保部门合作，积极配合相关调查和处理工作。同时，企业还应当加强对废气处理设备的运行管理和维护，制定科学的应急预案，提高设备的可靠性和稳定性，避免类似事件再次发生。
废气处理设备故障导致超标排放是严重违法行为，将受到严厉的处罚和惩罚。企业应该切实履行环保责任，加强设备管理，依法合规生产，共同维护良好的生态环境。