依据有机废气处理标准，定期对设备的各个零件进行检查并记录，根据工业废气处理设备的使用磨损规律，根据工业废气处理设备的使用磨损规律，预测零件的磨损率，及时对零件及逆行维修。而且适时地进行预防维修，排除故障隐患恢复设备的功能和精度。
为了使有机废气处理设备维持正常功能，需要日常点检和定期检查来查明设备技术状态，如设备零件需要有任何的问题，要及时进行维修，也可按照预防维修方法进行预防维修，针对有机废气处理设备的劣化部位以及程度，预估零件修护和更换时间，避免出现精准度下降到最低值或故障率。
如果机械保养的好则很少出毛病，但是一旦机械有毛病，就需求添加资金去修理，因此维护设备成为重之重。预防维修方法的优点是：既能使装 备常常坚持优越形态，又能充沛应用零件的运用寿命。
如果废气为含尘废气，则必须在处理前加上一段除尘装置，以保证后续过程的顺利进行。要注意设备都是完整的，在安装过程中不允许对设备及逆行电煌、气割，一旦被损坏这台设备将不是一台完整的设备，不能正常进行对有机废气的处理。